365系列

只需5秒钟固化UV大部分蓝膜。

革命性的新设计可以快速而均匀地固化UV膜，具有长寿命光源，并可处理多达300mm大小的所有尺寸晶圆。365型号的UV曝光系统无需外部通风，占用空间小。

产品详情

365系列的优势

  • 只需5秒钟固化UV大部分蓝膜。
  • 大曝光区域可固化多达300mm大小的晶圆。
  • 提供膜框。
  • 可编程的N2清除和固化时间。
  • 触摸屏控制。
  • 安全互锁以防止操作人员暴露在UV光下。
  • 自我诊断（LED故障时发出警报，识别有故障的LED模块）。
  • LED寿命长达10,000小时。
  • 不产生臭氧。
  • 冷却风扇受温度控制。

技术规格

  • 21.5英寸宽X31.5英寸长X5.5英寸高
  • 重量：55磅（25千克）
  • 电源：85-264伏交流电：3.5安培：50/60赫兹
  • 保护气体：30 psi（2.07 BAR）@ 1.06 CFM或30 LPM。